排気ガス中に含まれる有害な化学物質や粒子などを洗浄やろ過によって除去処理する装置で、湿式・乾式・燃焼式などの種類があり、排ガス洗浄装置・除害装置とも呼ばれています。一般的にスクラバーと呼ばれていますが、本来は湿式排ガス処理装置のことを指します。
湿式は、気体と洗浄液を気液接触させて排気中に含まれるガスや粒子を除去する方式で、様々な種類があります。酸性ガスはアルカリ溶液で、アルカリ性ガスは酸性溶液を用いて中和処理しますが、水に溶けやすいガスの場合は水洗浄で処理する場合もあります。
乾式は、活性炭などの吸着剤を充填した層に空気を通過させることによって、排気中のガスを吸着処理する方式で、乾式スクラバーなどと呼ばれることもあります。高性能フィルターを装備して微粒子を除去処理する方式もあります。
研究・実験用の排気設備に最も多く設備されているのは湿式および乾式の排ガス処理装置で、湿式排ガス処理装置は主に酸性またはアルカリ性ガスの除去に、乾式排ガス処理装置は主に溶媒ガスの除去に使用されています。